Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition - Parallel Plate (PECVD)

GARA EUROPEA A PROCEDURA APERTA, SUDDIVISA IN 2 LOTTI, PER LA FORNITURA E L'INSTALLAZIONE DI ATTREZZATURE SCIENTIFICHE PER IL POTENZIAMENTO DEI LABORATORI DI FBK, NELL'AMBITO DELL'INIZIATIVA TECNOLOGICA CONGIUNTA A SOSTEGNO DELL'ELETTRONICA INNOVATIVA (CHIPS-JU), PROMOSSA A LIVELLO EUROPEO PER LA RICERCA E LO SVILUPPO DEI SEMICONDUTTORI A BANDA LARGA (WBG) PER LELETTRONICA DI POTENZA E A RADIOFREQUENZA (RF) PILOT LINE 4 - CUP: C63C24001600007